本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

以下是官方返图：

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今年北台灣推案預估只會有約1435億，比去年還要減少200多億，與近年平均2000多億的推案量有差距，其中50億元以上案件少之又少。

不過隨著央行微調措施，宣布20號起放寬自然人第二戶購屋貸款成數，從五成提升至六成，專家看好帶動市場信心回溫。

台灣房屋趨勢中心資深經理陳定中分析，現在不用簽切結，就可以拿到六成貸款，比之前在買賣上來講更有一些彈性，後續換屋族比較偏好的一些中坪數、中高總價的產品，可能在市場上面的熱度會稍微有起色。

但房市消化還需要一點時間，如今政策稍稍鬆綁，雖然329推案量寫新低，但可望為房市提振買氣，注入新活水。

台北／綜合報導　責任編輯／網路中心

　　活动中，志愿者通过发放宣讲《农村垃圾分类宣传手册》，详细地向村民讲解了垃圾分类的意义、具体的分类标准及投放要求，教育村民们如何辨别可回收物、有害垃圾、厨余垃圾及其他垃圾。针对春节期间厨余垃圾增多的特点，志愿者也重点讲解了剩菜剩饭、瓜果皮核等易腐垃圾的分类技巧。倡导大家从生活中的点滴小事做起，引导大家做到在生活中将垃圾投放至桶内，鼓励大家积极做到“四勤两参与”，共同打造良好的居住环境和生活氛围，提升生活质量。

　　此次活动的开展不仅为即将到来的新春佳节营造了文明和谐的环境氛围，也为推进全村环境保护工作奠定了坚实基础。下一步，官塘村新时代文明实践站将常态化开展环境保护宣传及整治活动，为打造和谐美丽的乡村环境贡献力量。（沈书媛）

活动现场将设置六大特色展区，让市民在逛展中感受生物多样性之美，解锁爱鸟新姿势。

●林业工作宣传展区：野保、林政、森防等核心科室集体“出摊”，面对面解答市民疑问，科普野生动物保护政策与陆生野生动物致害预防知识，凝聚全民“生态哨兵”共识。

●无人机智慧护鸟展区：大疆机场3、Matrice 4TD热成像无人机等前沿设备惊艳亮相，动态演示“自动巡护—红外搜寻—远程喊话”全流程智慧护鸟场景。市民可通过大屏观看无人机第一视角巡湖画面，体验“红外寻踪”“隔空喊话”等趣味互动，感受科技守护蓝天的力量。

●梅州林业生态文创展区：以本土珍稀鸟类为原型的钥匙扣、徽章、书签、杯垫，以及记录客都生态之美的明信片、纪念邮票等文创样品集中展示，传递“将绿水青山带回家”的美好愿景。

● 野生动物标本展览：赤麂、八哥、乌鸫、黑鸢等动物标本近距离呈现，让市民直观了解梅州丰富的野生动物资源。

此外，周六还将有来自梅州外语实验学校的小小讲解员们现场开讲——这些“红领巾讲解员”将化身野生动物代言人，用童真的语言讲述标本背后的故事，在孩子们心中播下生态保护的种子。

特别策划：当爱鸟周遇上“星星的孩子”

本次活动特别策划“以爱绘鸟·童心同行”公益融合活动，邀请爱心亲子家庭与孤独症儿童结对同行，共同绘制心中最美的小鸟，并现场制成独一无二的爱心冰箱贴。孩子们将化身“小小爱心摊主”，在跳蚤市场义卖闲置文具、玩具和书籍，所有善款全额捐赠给梅州市心智障碍互助协会，用于支持孤独症儿童的康复与融合服务。

这不仅是一次爱鸟护鸟的生态教育，更是一场温暖的双向奔赴——让普通孩子学会接纳与分享，让“星星的孩子”感受到善意与陪伴。

活动信息

●时间：3月20日-21日（本周五至周六）

●地点：梅江区剑英公园

●参与方式：免费入场，公益融合活动需提前报名（名额有限，详情请关注“梅州林业”公众号）

这个春天，让我们相约剑英公园，在画笔与旧物间传递善意，在科技与自然中感受守护，共同书写“绿美梅州”的生动注脚。

知识链接——

梅州是候鸟的重要栖息地和迁徙通道，其中广东五华七目嶂兽类及鸟类重要栖息地、广东蕉岭长潭兽类及鸟类重要栖息地国家林业和草原局公告(2023 年第 23号)《陆生野生动物重要栖息地名录》(第一批)。广东梅州平远龙文黄田自然保护区（水库）、广东梅州蕉岭长潭省级自然保护区（水库）、广东梅州大埔丰溪省级自然保护区列入了广东省重点关注的候鸟迁徙通道。

梅州有记录的鸟类中以雀形目鸟类占大多数，雀形目鸟类有40科181种，占总种数的54.19%；非雀形目有153种，占总种数的45.81%，其中鸻形目物种数最多，有29种，另鹰形目19种，鹈形目16种，鸮形目和雁形目各12种，其余各目不超过10种。种数最多的科是鹟科，有34种；其次为鹰科，有18种；鹭科和鹬科居第三和第四位，分别有15种和13种；鸭科、杜鹃科、鹀科各有12种；鸱鸮科、柳莺科和鹡鸰科各11种；其余科均不超过9种。

在居留型组成方面，全市334种鸟类中留鸟最多，有143种，占总种数的42.81%；其次是冬候鸟89种，占26.65%；夏候鸟有28种，占8.38%；旅鸟19种，占5.69%；迷鸟3种，占0.90%；有两种及以上居留类型的52种，占15.57%（表5-10）。总体上以留鸟为主，夏候鸟数量偏少，冬候鸟有一定数量，这与梅州地处亚热带季风区的实际情况相符，到梅州越冬的鸟类较多，而夏季迁徙到此度夏的鸟类较少。

梅州，这片神奇的土地，不仅孕育了丰富的生物多样性，更让每一只栖息于此的鸟儿，都成为了自然之美的最佳代言。它们或高歌于枝头，或翱翔于蓝天，共同编织着一幅幅生动和谐的生态画卷，让梅州的山川更加灵动，让这片土地的故事更加丰富多彩。

梅州日报记者：钟文丽

编辑：梁威

审核：蔡颜颜